પ્લાઝ્મા સપાટીની સફાઈ એ એવી પ્રક્રિયા છે જેમાં વાયુના કણોમાંથી ઉચ્ચ-ઊર્જાવાળા પ્લાઝ્માનું સર્જન કરીને નમૂનાની સપાટીની અશુદ્ધિઓ અને દૂષણોને દૂર કરવામાં આવે છે, તે સપાટીની સફાઈ, સપાટીની વંધ્યીકરણ, સપાટી સક્રિયકરણ, સપાટી ઉર્જા પરિવર્તન, જેવી વિવિધ એપ્લિકેશનો માટે ડિઝાઇન કરવામાં આવી હતી. બંધન અને સંલગ્નતા માટે સપાટીની તૈયારી, સપાટીના રસાયણશાસ્ત્રમાં ફેરફાર.